▲     왼쪽 위 부터 시계방향으로 손재성 교수, 최문기 교수, 김주영 교수, 양우정 연구원, 조소영 연구원, 황경석 연구원.  (사진^UNIST 제공)

 UNIST(울산과학기술원)는 신소재공학과의 손재성ㆍ최문기ㆍ김주영 교수팀이 황화은(Ag2S) 무기반도체 박막을 저렴한 용액공정으로 합성하는 데 성공했다고 17일 밝혔다.

합성된 박막으로 제작된 저항 변화 메모리소자(RRAMㆍ알 램)를 파킨슨병 환자 모니터링 장치에 적용해 무기반도체 박막의 성능도 입증했다.

개발된 장치를 환자 몸에 붙이면 근육 경련과 같은 파킨슨병 환자의 운동이상을 감지할 수 있다. 손 교수팀이 개발한 황화은 무기반도체 박막은 반도체 특성을 보임과 동시에 신축성이 좋다.

기존 무기반도체 소재는 이온 결합 등으로 이루어져 있어 본질적으로 쉽게 부서지는 특성이 있지만, 이번에 개발된 황화은 박막은 연신 변형률이 15%에 이를 정도로 신축성이 우수한 반도체 소재이다.

제 1저자인 조승기 연세대학교 KIURI 연구단 박사 후 연구원은 "무기 반도체소재는 유기화합물 반도체 소재보다 선천적으로 우수한 열적ㆍ화학적 안정성을 지녀, 고온다습한 특수 환경에서도 안정적으로 구동 가능한 스트레쳐블 전자 소자에 쓸 수 있다"고 설명했다.

특히 이번에 개발된 무기반도체 박막은 기존과 달리 저렴한 저온 용액공정으로 제조할 수 있어 상업화에도 유리하다. 무기반도체 입자와 용매가 섞인 용액을 기판 위에서 회전시켜 고르게 코팅하는 방식이다. 용매는 증발시켜 제거한다.

공동 제1저자인 조소영 UNIST 신소재공학과 석사과정 연구원은 "원재료에 상당한 고온ㆍ고압을 가하는 기존 생산 방법은 박막 생산비가 비쌀뿐더러, 메모리 반도체 소자를 이루는 다른 재질 층이 고온 고압을 견디지 못해 소자 제작에 바로 적용하기 힘들다는 단점이 있었다" 고 설명했다.

또 연구진은 이를 이용해 세계 최초로 `신축성을 지닌 박막형 황화은 기반 저항메모리 반도체`를 개발했다. 이 메모리 반도체 소자는 높은 on/off 전류비 차이, 작동 내구성을 보여 패치형 헬스모니터링 기기 개발에도 쓰일 수 있다.

공동 제1저자인 양우정 UNIST 신소재공학과 석ㆍ박사통합과정 연구원은 "스트레쳐블 저항 변화 메모리를 모션 센서와 결합해 파킨슨병 환자를 모니터링 할 수 있는 패치형 장비를 개발했다"며, "터치센서를 이용하면 대면적 매트릭스 디바이스 제작도 가능하다"고 설명했다.

이번 연구는 `어드밴스드 머티리얼스에 지난달 30일 온라인판에 발표됐다. 연구 지원은 한국연구재단의 미래소재디스커버리사업, 도전형 소재기술개발 프로그램 등을 통해 이뤄졌다.허종학 기자